高耐熱温度センサ

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研究代表者:
伊藤 寿浩 (産業技術総合研究所 先進的プロセス研究部門 ネットワークMEM研究グループグループ長)
研究課題:
安全・安心のためのアニマルウオッチセンサの開発

技術解説

少なくとも300度の高温雰囲気の中で動作可能な無線温度測定システムの開発を行っている。著者らは用途としてベアリングの劣化度合いモニタリングをあげている。
300度の雰囲気では通常のCMOSは使用できず、シリコンカーバイドなども信頼性の点で現状では問題があり、著者らは図1のようなシステムを開発した。MEMS技術で作製したバイモルフを温度依存性をもつバリアブルキャパシタとして使用しており、LC共振が変化することで温度を測定するという原理を用いている。

概要図

温度センサの原理

温度センサの原理

温度と共振周波数の関係

温度と共振周波数の関係

論文等

関連特許

関連リンク

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