真空封止評価用デバイスの開発

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研究代表者:
伊藤 寿浩 (産業技術総合研究所 先進的プロセス研究部門 ネットワークMEM研究グループグループ長)
研究課題:
安全・安心のためのアニマルウオッチセンサの開発

技術解説

本研究では、真空封止されたマイクロキャビティーの内部圧力を測定する、真空封止評価専用のデバイスをSCREAM法により開発するとともに、デバイス設計に必要な分子流領域での振動子の気体減衰量を推定する方法を新たに提案し、検討を行った。これまでに、MEMSの真空封止評価は振動子や隔膜を用いて評価しているが、測定できる圧力範囲が不十分であるなどの問題があった。本研究では、真空封止が必要なデバイスの調査から、必要な圧力測定範囲の下限は0.1Paであり、最適なセンシング方法は振動子の機械的なQ値の圧力依存性を用いた方法とし、圧力測定範囲が0.1-103Paである真空封止評価専用デバイスの開発に成功した。図1はその概略図、図2は振動子のQ値の圧力依存性を示している。

概要図

図1

図1

図2

図2

論文等

関連特許

関連リンク

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