MEMS血流センサ

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研究代表者:
伊藤 寿浩 (産業技術総合研究所 先進的プロセス研究部門 ネットワークMEM研究グループグループ長)
研究課題:
安全・安心のためのアニマルウオッチセンサの開発

技術解説

個別光学部品の組み立て調整で構成する従来の製造法ではなく,MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術を用いて基板上に多数個一辺に製造可能な世界一小型のレーザドップラーに基づいて血流量を測定する高感度血流量センサ.半導体レーザチップとフォトダイオードチップをMEMSパッケージングした構造になっている.従来の市販品と比べ、重量比100分の1、消費電力1000分の1で無線信号伝送のため、従来のように光ファイバーを用いないことから体動の影響を受けないために身体に装着した状態で血流量の測定が容易にできる。挙手時における安定した血流量の変化を計測することにより,脱水症や強皮症の診断が患者に痛みを与えないで診断また簡単に可能な有用な強皮症の診断法を確立している.

概要図

世界最小MEMS血流センサ

世界最小MEMS血流センサ

論文等

  1. Yoshinori Kimura, Atsushi Onoe, Eiji Higurashi, and Renshi Sawada, Low-power Consumption Integrated Laser Doppler Blood Flowmeter with a Built-in Silicon Microlens, IEEE Optical MEMS and nanophotonics 2008, (Freiburg, Aug.10-14), M2.2pp.13-14

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